| 主要取扱製品 |
メーカー |
装置・型式 |
| 半導体検査顕微鏡 |
ニコン |
φ300mmウェハ検査顕微鏡 エクリプスL300
LSI検査自動化顕微鏡 エクリプスL200A
LSI検査顕微鏡 エクリプスL200
LSI検査顕微鏡用ウェハローダ NWL200シリーズ
LSI検査顕微鏡用ウェハローダ NWL860/641シリーズ
ワイド/ラインマクロ照明装置
オートフォーカス顕微鏡 AFUシリーズ |
| 液晶検査顕微鏡 |
ニコン |
FPD検査顕微鏡 エクリプスL300D
LSI検査顕微鏡 エクリプスL200D |
| 工業/金属顕微鏡 |
ニコン |
工業用顕微鏡 エクリプスLV150/LV100Dシリーズ
工業顕微鏡 エクリプスLV100D-U/LV100DA-U
偏光顕微鏡 エクリプスLV100POL/50iPOL
倒立型金属顕微鏡 エピフォトTME300U/TME200
倒立金属顕微鏡 エクリプスMA200
小型倒立顕微鏡 エクリプスMA100
ユニバーサルズーム顕微鏡AZ100/AZ100M
システム実体顕微鏡 SMZ1500/1000/800
実体顕微鏡 SMZ645/660、SMZ445/460、SMZ
実体顕微鏡 SM-5/6 |
| ユニオン光学 |
ズームマイクロスコープ DZシリーズ/赤外線IC顕微鏡 |
| レーザ顕微鏡 |
レーザテック |
走査型レーザ顕微鏡 SLM700D |
| デジタルファインスコープ |
オムロン |
3Dデジタルファインスコープ VC1000/VC4500 |
| 試料作成機 |
ビューラー |
研磨機 エコメット/オートメット
精密低速切断機 アイソメット
埋込機 シンプリメット |
| 半導体検査装置 |
ニコン |
ウエハエッジ検査装置 WES-3000
自動マクロ検査装置 AMI-3000/3300
ウエハ外観検査装置 OPTISTATION-V
ウエハ外観検査装置 OPTISTATION-3100/3200
CCD検査用光源装置 N-SIS III
VMR-K3040ZC用ウエハ搬送システム NWT-3000 |
| ユニオン |
マスクアライナ SMF-600、EMA-400/300
両面アライメント片面露光装置 SMA-600FA、PEM800/6M/8M
陽極接合装置 SIG-2、SWS-100IRV.IR |
| 浜松ホトニクス |
エミッション顕微鏡 PHEMOSシリーズ
発熱画像解析装置 THEMOSシリーズ
IR-OBIRCH解析装置 μAMOSシリーズ
パターン付ウエハ検査装置 XTREAM/EAGLEシリーズ
プラズマ解析装置 プラズマプロセスモニタC7460
赤外線半導体内部検査装置 C2955/C6145 |
| オプト・システム |
LED用装置 スクライブ装置・ブレーキング装置・プロービング装置・チップ分類装置
Lasea Diode用装置 スクライブ装置・劈開装置・バー整列装置・チップ検査装置 |
